XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD残余应力检测平台，以及行业应用技术开发。
另外，福建XRD残余应力检测，也可以利用谢乐公式计算：
谢乐公式的应用方法Dc = 0.89λ /（B cos θ）（λ为X 射线波长， B为衍射峰 半高宽， θ 为衍射角）双线法（Williams-Hall）测定金属晶体中的微观应力。晶块尺寸小于0.1μm，且有不均匀应变时衍射线宽化。可用谢乐方程或Hall法作定量计算。谢乐方程的假设是试样中没有晶体结构的不完整引起的宽化，则衍射线的宽化只是由晶块尺寸造成的，而且晶块尺寸是均匀的。需注意，晶粒大于100纳米以上，用谢乐公式不太准确，因为其半高宽的原因。准确的是在40nm左右，但是，低于100n都可以谢乐公式来算。另外，谢乐公式只适合球形粒子。
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关于XRD图谱
1）衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变（微观应变）和堆积层错（在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴）。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2）半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示，样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW（I）和样品性质（晶块尺寸细化和微观应力存在）加宽FW（S）的卷积。为了求得样品加宽FW（S），必须建立一个仪器加宽FW（I）与衍射角θ之间的关系，也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同，标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品，晶粒度在25μm以上，如NISTA60Si和LaB6等。
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X射线发生器
X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管，其阴极是钨丝，阳极为金属片。
在阴极两端加上电流之后，钨丝发热，产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速，轰击阳极(又称靶)，产生X射线(此过程产生大量热量，XRD残余应力检测价格，为了保护靶材，XRD残余应力检测服务，必须确保循环水系统工作正常)。
常见的阳极靶材有：Cr， Fe， Co， Ni， Cu， Mo， Ag， W，常用的是Cu靶。
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