湖北XRD残余应力检测 半导体XRD薄膜测试

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XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


X射线发生器

X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管,其阴极是钨丝,阳极为金属片。

在阴极两端加上电流之后,钨丝发热,产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速,轰击阳极(又称靶),产生X射线(此过程产生大量热量,为了保护靶材,XRD残余应力检测价格,必须确保循环水系统工作正常)。

常见的阳极靶材有:Cr, Fe,XRD残余应力检测哪里可以做, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。




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变温测定结构相变

还有些样品在某温度存在结构相变,通常这种结构相变会伴随物理性质的变化,为了证实材料是否具有结构相变,以及分析相变前后结构的变化,我们就需要选择变温XRD测试,它是研究原位结构相变的得力工具。

研究单晶薄膜

另外一些做单晶薄膜(也叫外延薄膜)相关研究的同学,在测试样品的时候就需要使用高分辨XRD,高分辨XRD通常配有平行光、单色器、欧拉环等附件,可以用来分析薄膜的物相、外延关系(通过Phi扫描)、结晶质量(摇摆曲线)、薄膜面内晶格和应变情况(需要使用倒易空间图reciprocal space mapping)等。



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x射线应力测定法优点和实际应用

优点

x射线应力测定法可以无损地测量构件中的应力或残余应力,湖北XRD残余应力检测,特别适宜于测量薄层和裂纹的应力分布。是检验产品质量,研究材料强度,选用较佳工艺的一种重要手段。

实际应用测量

测定应力时,通常只要测量4~5个具有不同入射角(一般取0°、15°、30°45°、60°)的X射线的衍射角,作出 曲线,用Z小二乘法求出斜率,就可确定 。这就是用X射线测定应力的基本方法—— 法,其精度较高。此外,还有0°-45°法、单一倾斜法等。

曾经先后采用过照相法(由底片记录衍射环半径)和计数管法(由计数管记录衍射角,见图3),接收、记录X射线的衍射,如用电子计数器记录宽大衍射条纹的峰值强度位置时,可采用较的法和常用的半高法等。




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发布时间
2022-12-01 10:28
所属行业
信息技术项目合作
编号
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