XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
5.自己使用仪器测试，测样前处理样品是否需要固体研磨时间？一份样品是否多测两次观察是否有较大差异？仪器是否有定期的矫正方法或者可以使用标准样品矫正？
答：一般情况下，处理样品不需要固体研磨时间，只要样品的粒度达到要求即可；同一样品没有必要多测两次观察是否有差异，因为X射线衍射仪短期内是不会出现测样误差的；X射线衍射仪有定期的矫正方法，具体到不同型号方法不同，可以咨询应用工程师；也可以用标准物质进行矫正。
6.点光源和线光源测试的结果一致吗？
答：不一致，两种光源的应用范围不同，线光源用于常规粉末的定性定量分析、薄膜的掠入射和反射率分析等；点光源常用于织构、应力、微区等分析。
7.块体样品在对峰时需要注意什么？
答：块体样品在对峰时需要注意的地方和粉末样品一样；在测试的时候需要注意块体的高度，如果过高的话，X射线会打到块体的侧面，影响实验结果。
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15.我以前通过慢扫数据得到比较好的源数据，但是我在用jade并利用R值法进行半定量操作时发现误差超过30%，XRD掠入射（GIXRD）检测哪家好，产生这样的结果有哪些原因呢？
答：主要原因是PDF卡片的选取出了问题，通常同一物相会有多个PDF卡片与之对应，在选择卡片时是否准确？
16.在用Highscore进行半定量操作时，有没有什么标准去评判半定量是否准确？
答：没有普适的标准，可以通过其它表征手段进行旁证。或者可以自己往样品中掺入已知百分数的某种物质，比如掺入30wt%的刚玉，再进行半定量分析，看看分析结果中刚玉的含量与实际掺入量的差别有多大。
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这里着重介绍粉末样品的制样。在粉末样品的制备中，需要把试样研磨成适合衍射实验用的粉末；然后再把试样粉末制成有一个十分平整平面的试片。确保采样的代表性和试样成分的可靠性，XRD掠入射（GIXRD）检测测试，衍射数据才有意义。粉末样品进行XRD分析时要求粉末要较细且粒度均匀，同时样品量不要太少。
对试样粉末粒度的要求
试样在受到X射线照射的体积中要保证有足够的晶粒，保证X射线照射到的样品颗粒取向的随机性，能够大可能的减小取向性的影响，从而更好地与标准物质相对比。
要测到良好的衍射线，湖南XRD掠入射（GIXRD）检测，晶粒不易过细，应在0.1μm~10μm，晶粒过细会引起衍射线宽化。
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