MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，真空镀膜微纳加工工厂，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
通过光刻技术制作出的微纳结构需进一步通过刻蚀或者镀膜，才可获得所需的结构或元件。
21世纪，刻蚀微纳加工工厂，人们仍会不断追求条件更好且可负担的、更高的生活品质和质量更好的日用消费品，并竭力应对由能源成本上涨和资源枯竭所带来的风险等“巨大挑战”。它们也是采用创新体系的商品扩大市场的推动力。微纳制造技术过去和现在一直都被认为在解决上述挑战方面大有用武之地。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工设备主要有：光刻、刻蚀、成膜、离子注入、晶圆键合等。
目前微纳制造领域较常用的一种微细加工技术是LIGA。这项技术由于可加工尺寸小、精度高，适合加工半导体材料，因而在半导体产业中得到普遍的应用，其较基础的中心技术是光刻，即曝光和刻蚀工艺。随着LIGA技术的发展，人们开发出了比较多种不同的曝光、刻蚀工艺，以满足不同精度尺寸、生产效率等的需求。LIGA技术经过多年的发展，工艺已经相当成熟，但是这项技术的基本原理决定了它必然会存在的一些缺陷，比如工艺过程复杂、制备环境要求高（比如需要净化间等）、设备投入大、生产成本高等。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，半导体微纳加工工厂，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工虽然是这几年兴起的行业，但是在MEMS发展初期也是比较稀缺的。随着MEMS传感器被广泛应用在智能设备、智能终端、智能汽车和生物领域，天河微纳加工工厂，小批量的中试需求成为MEMS公司推出新品的必经之路。
微纳加工工艺师根据产品来，而每一个MEMS产品都有1对1的特点，即“一种产品，一种工艺”。微纳加工也具有定制化设计和生产的特点。同时，MEMS产品一般种类多，但是用星却很少，比较适合中小型微纳加工企业。
虽然国内的微纳加工公司规模都不是非常大，但是还是有部分企业的加工能力已经可以覆盖整个MEMS工艺。“小、散、弱”的局面将会随着发展而改变。微纳加工公司的设计能力的提高，也将大大提高MEMS产品研发的速度和质量。所以，发展好微纳加工企业，对于国内MENS的发展，也是助力的过程。
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天河微纳加工工厂-半导体微纳加工工厂-半导体研究所由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所位于广州市天河区长兴路363号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前半导体研究所在电子、电工产品加工中享有良好的声誉。半导体研究所取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。半导体研究所全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。