大功率XRD检测 半导体薄膜测试机构

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大功率XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

薄膜的XRD测试

有部分同学的研究可能会涉及到涂层薄膜的研究,比如在玻璃基底上生长电池材料薄膜,这种样品由于绝大多数都是多晶状态,而且厚度有限(通常从几十纳米到微米),江西大功率XRD检测,如果用常规XRD方法测试,由于在衍射方向薄膜样品厚度非常小,导致参与衍射的晶面非常少,大功率XRD检测实验室,造成样品信号很难测出。

这时我们就需要采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的办法对样品进行测试,掠入射XRD实质是通过X射线小角度照射样品,使更多的晶粒参与衍射,大功率XRD检测测试,以弥补常规衍射方向厚度的不足,它使x射线束的穿透力被极大的限制,大大提高了分析样品的表面分析灵敏度,且能分析体积相对较大的样品。





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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时单晶衍射数据的分析可以得到的信息:可获得被测样品的全部三维信息,结构包括原子间的键长、键角、分子在晶体中的堆积方式,分子在晶体中的相互作用以及氢键关系、π-π的相互作用等各种信息,总之可以根据单晶衍射数据分析出晶体的结构。单晶结构分析是有机合成、不对称化学反应、配合物研究、新药合成、天然提取物分子结构、矿物结构以及各种新材料结构与性能关系研究中心不可缺少的直接、有效、的方法之一。

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动力学衍射理论

Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用,认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合,而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同,而对大块完整的晶体,则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。

布拉格方程

1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程:2dsinθ=nλ

式中d为晶面间距;n为反射级数;θ为掠射角;λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。



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发布时间
2022-12-29 12:52
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