半导体XRD薄膜测试 单晶XRD检测实验室

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单晶XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,山西单晶XRD检测,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


小角X射线衍射在纳米多层膜材料中,两薄膜层材料反复重叠,形成调制界面。当X射线入射时,周期良好的调制界面会与平行薄膜表面的晶面一样,在满足Bragg条件时,产生相干衔射,形成明锐的衍射峰。

由于多层膜的调制周期比金属和化合物的晶面间距大得多,所以只有小周期多层膜调制界面产生的XRD衍射峰可以再小角度衍射时观察到,而大周期多层膜调制界面XRD衍射峰则因其衍射角度更小而无法进行观测。

因此,单晶XRD检测实验室,对制备良好的小周期纳米多层膜可以用小角度XRD方法测定其调幅周期。




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如何看懂XRD图谱




XRD图谱峰的面积表示晶体含量,面积越大,晶相含量越高。峰窄说明晶粒大,可以用谢乐公式算晶粒尺寸。XRD图谱峰高如果是相对背地强度高,表示晶相含量高,单晶XRD检测服务,跟面积表示晶相含量一致。

XRD图谱峰高如果是A峰相对B峰高很多,两峰的高度比“A/C”相对标准粉末衍射图对应峰的高度比要大很多,那么这个材料是A方向择优取向的热重曲线热重分析得到的是程序控制温度下物质质量与温度关系的曲线。

即热重曲线(TG)曲线,横坐标为温度或时间,单晶XRD检测平台,纵坐标为质量,也可用失重百分数等其它形式表示。由于试样质量变化的实际过程不是在某一温度下同时发生并瞬间完成的,因此热重曲线的形状不呈直角台阶状,而是形成带有过渡和倾斜区段的曲线。



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物相分析每一种晶体都有它自己的晶面间距d,而且其中原子按照一定的方式排布着,这反映到衍射图上各种晶体的谱线有它自己特定的位置。数目和强度I。因此,只需将未知物中的衍射图中各谱线测定的角度和强度和已知样品的谱线进行比较就可以达到分析目的。

通过对材料进行X射线衍射,分析其衍射图谱,获得获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息。测定晶粒度XRD测定晶粒度是基于衍射线的宽度与材料晶粒大小有关这一现象。对于TiO2纳米粉体,其主要衍射峰2θ为21.5°。 当采用铜靶作为衍射源,波长为0.154nm,衍射角的2θ为25.30°,测量获得的半高宽为0.375°,一般Scherrer常数取0.89.根据Scherrer公式,可以计算获得晶粒的尺寸。

此外,根据晶粒大小,还可以计算纳米粉体的比表面积。



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2023-04-09 12:29
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