大功率XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，河南大功率XRD检测，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
载流子寿命就是指非平衡载流子的寿命。而非平衡载流子一般也就是非平衡少数载流子（因为只有少数载流子才能注入到半导体内部、并积累起来，多数载流子即使注入进去后也就通过库仑作用而很快地消失了），所以非平衡载流子寿命也就是指非平衡少数载流子寿命，即少数载流子寿命。例如，对n型半导体，非平衡载流子寿命也就是指的是非平衡空穴的寿命。
少子寿命是半导体材料和器件的重要参数。它直接反映了材料的质量和器件特性。能够准确的得到这个参数，对于半导体器件制造具有重要意义。少子寿命测试仪可以直接获得长硅的质量参数。
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关于X射线衍射分析（XRD）定义：X射线衍射分析（X-ray diffraction，简称XRD），是利用晶体形成的X射线衍射，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。分析原理当一束X射线入射到晶体时，首先被原子（电子）所散射，大功率XRD检测费用多少，每个原子都是一个新的辐射源，向空间辐射出与入射波同频率的电磁波。由于晶体是由原子、分子或离子按一定规律排列成的晶面组成，这些按周期平行排列的晶面的间距与入射X射线波长有相同的数量级，故由不同晶面散射的X射线相互干涉，并在符合布拉格方程的空间方向上产生强X射线衍射。布拉格方程2dsinθ=nλ，n=1，2…
其中：d为晶面间距，θ为入射X射线与相应晶面的夹角，λ为X射线的波长，n为衍射级数，其含义是：只有照射到相邻两晶面的光程差是X射线波长的n倍时才产生衍射。
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实际应用
●实验准备
?样品做必要的清洗
?去加工应力
?确定衍射晶面。扫描样品在2θ=100-140°范围内的谱图，确定衍射晶面（峰背比较高，峰较窄，谱线平滑、衍射角高)
●实验设备
?同倾法：常规衍射仪，θ和2θ可单独转动即可。
?侧倾法：多功能样品台，样品可做Ψ侧倾，好可绕自身法线转动，则可测不同方向的应力。●扫描图谱
?选择Ψ角为0°，15°，25°，35°，45°
?选择侧倾法扫描
?电压40kV，电流40mA，Cu辐射，大功率XRD检测分析，步进扫描，步长0.02°，计数时间4s
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