XRD倒易空间（RSM）检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，XRD倒易空间（RSM）检测报告，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的，弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说，只有晶粒细小，没有织构，才近似满足这样的假定。
因为，衍射用的X射线对被测材料的穿透能力极低，大多在几微米或十几微米的深度。因此，可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下，XRD倒易空间（RSM）检测平台，致使主应力平面偏离试样表面，才可能出现τ13≠0，τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况，拟合曲线往往不具备椭圆属性，台湾XRD倒易空间（RSM）检测，其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的，因此无需过分强调椭圆拟合的必要性。
，X射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ，然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面，学者们研究出了许多方法。
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测量原理
●X射线应力测定—用X射线衍射技术来测定材料中的残余应力（或外载应力)
●优点：
①属于物理方法，不改变原始的应力状态
②理论严谨
③方法成熟
●缺点：
①测定的是表面应力
②对材料的表层状态比较敏感
●X射线应力测定的基本思路：
- 一定应力状态引起材料的晶格应变和宏观应变是一致的
- 晶格应变可以通过X射线衍射技术测出；宏观应变可根据弹性力学求得
- 从X射线法测得的晶格应变可推知宏观应力
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样品处理
●对于钢材试样，X射线只能穿透微米至十几微米的深度，测试结果实际是这个深度范围的平均应力，试样表面状态对测试结果有直接的影响。要求试样表面光滑，没有污垢、油膜及厚氧化层等。
●由于机加工而在材料表面产生的附加应力层大可达100μm，因此需要对试样表面进行预处理。预处理的方法是利用电化学或化学腐蚀等手段，去除表面存在附加应力层的材料。
●如果实验目的就是为了测试机加工、喷丸、表面处理等工艺之后的表面应力，XRD倒易空间（RSM）检测价格，则不需要上述预处理过程，必须小心保护待测试样的原始表面，不能进行任何磕碰、加工、电化学或化学腐蚀等影响表面应力的操作。
●为测定应力沿层深的分布，可用电解腐蚀的方法进行逐层剥离，然后进行应力测量。或者先用机械法快速剥层至一定深度，再用电解腐蚀法去除机械附加应力层。
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