山东XRD摇摆曲线检测 半导体研究所

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XRD摇摆曲线检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


小角X射线衍射在纳米多层膜材料中,两薄膜层材料反复重叠,形成调制界面。当X射线入射时,周期良好的调制界面会与平行薄膜表面的晶面一样,在满足Bragg条件时,产生相干衔射,形成明锐的衍射峰。

由于多层膜的调制周期比金属和化合物的晶面间距大得多,所以只有小周期多层膜调制界面产生的XRD衍射峰可以再小角度衍射时观察到,而大周期多层膜调制界面XRD衍射峰则因其衍射角度更小而无法进行观测。

因此,XRD摇摆曲线检测实验室,对制备良好的小周期纳米多层膜可以用小角度XRD方法测定其调幅周期。




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薄膜样品在基底上以二维形式存在,通常在平行厚度方向或者面内方向具有强烈的各向异性。因此,一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向,一个是沿厚度方向,另一个是面内方向(晶面垂直于宏观平面生长的方向)。我们对薄膜的表征包含晶格常数,晶格畸变,晶体取向以及晶粒尺寸等。此外,薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。

除上述外,X射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征,例如厚度,密度,粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。




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物相分析每一种晶体都有它自己的晶面间距d,而且其中原子按照一定的方式排布着,这反映到衍射图上各种晶体的谱线有它自己特定的位置。数目和强度I。因此,只需将未知物中的衍射图中各谱线测定的角度和强度和已知样品的谱线进行比较就可以达到分析目的。

通过对材料进行X射线衍射,山东XRD摇摆曲线检测,分析其衍射图谱,获得获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息。测定晶粒度XRD测定晶粒度是基于衍射线的宽度与材料晶粒大小有关这一现象。对于TiO2纳米粉体,其主要衍射峰2θ为21.5°。 当采用铜靶作为衍射源,波长为0.154nm,衍射角的2θ为25.30°,测量获得的半高宽为0.375°,一般Scherrer常数取0.89.根据Scherrer公式,可以计算获得晶粒的尺寸。

此外,根据晶粒大小,还可以计算纳米粉体的比表面积。



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发布时间
2023-05-09 15:02
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