XRD掠入射（GIXRD）检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
XRD与EDS有什么区别
SEM，EDS，XRD的区别，SEM是扫描电镜，EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪，XRD掠入射（GIXRD）检测服务，是用于物相分析的检测设备。
SEM用于观察标本的表面结构，其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样 品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。
EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
XRD是利用衍射原理，测定物质的晶体结构，织构及应力，的进行物相分析，定性分析，定量分析。
说简单点，SEM是用来看微观形貌的，观察表面的形态、断口、微裂纹等等；EDS则是检测元素及其分布，但是H元素不能检测；XRD观察的是组织结构，可以测各个相的比例、晶体结构等。
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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用
X射线衍射技术(X-ray diffraction，即XRD)，是对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。XRD采用单色X射线为衍射源，XRD掠入射（GIXRD）检测费用多少，一般可穿透固体，从而验证其内部结构，因此XRD可以给出材料的体相结构信息。通过XRD技术，可实现对物质中的矿物相的定性和定量分析。
技术原理采用X射线对物质进行衍射分析，不同原子散射的X射线相互干涉，在某些特殊方向上产生强X射线衍射，衍射线在空间分布的方位和强度，与晶体结构密切相关，并会得到物质特有的衍射图谱。
应用领域由于XRD具有所需样品数量少、检测速度快、无污染、不损失检材及数据处理方便等特征，因此X射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法，已在建筑材料、化学、生物等科学研究和行业生产中广泛应用。
采用XRD技术可进行物相的鉴定和定量分析，点阵常数测定，晶粒大小，微观应力，残余应力分析及薄膜分析，平行光路几何用于表面粗糙和不规则形状物体的相鉴定分析，小角X射线散射，直接分析纳米粒子的粒度，孔径分布计算，可进行纳米孔结构分析。
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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用
样品要求X射线衍射技术适用于多种类型产品的检测，送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同，具体要求也有所区别：
①粉末样品需要量约为2g以上（视其密度和衍射能力而定），送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目；
②块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样；
③对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），浙江XRD掠入射（GIXRD）检测，测量残余奥氏体，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层；
④若样品在空气中不稳定，会吸湿、风化、分解，则需采取保护隔离措施，若试样、、有毒，则应采取相应的防护措施。
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