MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
在聚合物熔体微挤出成型的过程中，机头流道结构直接影响到熔体流动的流场分布与稳定性。
微纳加工技术的特点：
（1）微电子化：采用MEMS工艺，可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感阵列、微执行器阵列甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性比较高的微电子机械系统。
（2）MEMS技术适合批量生产：用硅微加工工艺在同一硅片上同时可制造出成百上千微型机电装置或完整的MEMS，批量生产可较大降低生产成本。
（3）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多学科，并集约当今科学发展的许多成果。
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微纳加工的发展是随着MEMES产业的发展而发展起来的。目前，MEMS产品开发依旧会遇到一些问题。比如，江苏阳极键合微纳加工，开发周期长、制造平台多、研发成本高等。公司如果拥有完整供应链或将ASIC外包，也是可以考虑微纳加工的。因为微纳加工模式的好处确实不少。当然，也可以通过采购MEMS芯片的方式进行研发。
我们知道，MEMS器件都是一个器件一个工艺流程，非常具有单独性。虽然说1对1的生产工艺，阳极键合微纳加工委托加工，但是通过不同的工艺，可以生成自己独有的解决方案积累，并挑战不同工艺流程。只有公司供应链上所有的成员都具有相似设计规则和共同的发展路线时，阳极键合微纳加工外协，才能形成自己的生态。如果，阳极键合微纳加工服务，新的公司再研发上暂时还不能投入大量的资金和设备，微纳加工是一个不错的选择!
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通过光刻技术制作出的微纳结构需进一步通过刻蚀或者镀膜，才可获得所需的结构或元件。
21世纪，人们仍会不断追求条件更好且可负担的、更高的生活品质和质量更好的日用消费品，并竭力应对由能源成本上涨和资源枯竭所带来的风险等“巨大挑战”。它们也是采用创新体系的商品扩大市场的推动力。微纳制造技术过去和现在一直都被认为在解决上述挑战方面大有用武之地。
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