半导体XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
同倾固定Ψ0法
每次探测扫描接收反射X射线的过程中，入射角Ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角Ψ0来进行应力测试工作。
Ψ与Ψ0之间关系为：
Ψ=Ψ0 η
η=90°﹣θ
同倾固定Ψ0法的Ψ0角设置要受到下列限制：
Ψ0 2η< 90°
→ Ψ0<2θ-90°
2η< 90°→2θ> 90°
同倾固定法
在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定Ψ角方向上，即保持Ψ不变
测试时X=管与探测器等速相向(或相反)而行，每个接收反射X=时刻，相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角Ψ，来进行应力测试工作。同倾固定Ψ法的Ψ角设置要受到下列条件限制
Ψ η< 90°→Ψ<0
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半导体XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，半导体XRD检测服务，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，半导体XRD检测平台，以及行业应用技术开发。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法应力是通过应变来进行测定的，对于多晶体材料而言，半导体XRD检测机构，残余应力所对应的应变被认为是相应区域里晶格应变的统计结果，因此依据X射线衍射原理测定晶格应变，即可计算残余应力。
X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法
材料的残余应力与宏观应变相对应，宏观应变被认为等同于晶格应变，晶格应变即晶面间距的相对变化，河北半导体XRD检测，而晶面间距的变化可以通过衍射装置依据布拉格定律求出，这便是X射线衍射残余应力测定法的完整思路。
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X射线小角散射（Small Angle X-ray scattering，SAXS）是通过收集X射线穿过样品之后产生的散射信号，来研究样品1~100 nm范围之内结构信息的技术。SAXS对样品的形式没有特定要求，块状，粉末和液体均可，但要求感兴趣的结构与周围环境有电子密度起伏，即衬度。
由于纳米颗粒形貌和尺寸会对其物化性能均会产生影响，为了实现更的纳米颗粒形貌和尺寸的分析，以便更好地利用纳米颗粒，采用更具有统计意义的SAXS技术是个非常必要的选择。首先利用TEM对纳米颗粒形貌及尺寸进行初步分析，然后采集不同的纳米颗粒分散液的SAXS数据，利用不同的形状因子（即，cube，sphere， 和superball）对数据进行分析得到了不同的p值。当p=1时，纳米颗粒为球形，当，纳米颗粒则为立方体。
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