圆形平面磁控溅射阴极，为公司引进、消化和吸收的国际产品，与国内的磁性材料研发机构合作开发，与进口产品无明显差异。
1.1型号：CMY150（定制各种尺寸） ；
1.2真空漏率：<10E-9Torr L/S；
1.3电压：<1000V ；
1.4功率密度：25W/cm2 ；
1.5适用电源：DC/Pulsed-DC/RF；
1.6适用温度：<450℃；
1.7磁路：磁路模块化，方便更换 ；
1.8安装方式：CF接口，方便安装 ；
1.9冷却方式：间接水冷；
1.10能够满足共溅射和垂直溅射，能够与设备控制系统兼容；
2.随动挡板。
2.1接口尺寸：CF或威尔逊接口电动挡板结构；
2.2密封方式：无接触式静密封；
2.3能够微调挡板结构，在溅射源正常工作后调整挡板角度；
2.4带有快卸接口，能够迅速拆卸和安装。
2.5挡板数据接口和设备控制系统能够兼容。