洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小、污染物浓度符合现行国家有关标准规定限值的材料。洁净室装饰材料及密封材料不得采用释放对室内各种产品品质有影响物质的材料。洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列规定：洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光，便于除尘，并应减少凹凸面，踢脚不应突出墙面。洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜采用干燥作业，抹灰应采用符合现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》中gaoji抹灰的要求。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐腐蚀、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。
洁净厂房地面应符合生产工艺要求；洁净厂房地面应平整，耐磨、易清洗、不开裂，且不易积聚静电；地面垫层宜配筋，潮湿地区垫层应有防潮措施。洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面宜平整、光滑，位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。洁净区和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有良好的气密性。洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启，并应加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。洁净厂房门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列规定：洁净厂房门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面及施工缝隙均应采取可靠的密闭措施；当采用轻质构造顶棚做技术夹层时，夹层内宜设检修通道；洁净厂房窗宜与内墙面齐平，不宜设窗台。洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内顶棚和墙面表面材料的光反射系数宜为0.6～0.8，地面表面材料的光反射系数宜为0.15～0.35。洁净度等级严于8级的洁净室的墙板和顶棚宜采用轻质壁板。室内装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级试验应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》的有关规定。