HM-A300全自动检测设备
一、产品特点
1、高速度、高精度测量系统
2、300mm*300mm范围自动测量
3、重复测量精度≦0.5µm
4、适用高反光、高透光材料
5、数据重复测量的一致性
6、测量膜厚、线宽、平面度等
二、产品参数
外观尺寸：930*1200*1450mm
XY运动行程：360*360mm
Z轴可调行程：50mm
有效测量范围：300*300mm
有效步距（min）:2μm/s
扫描速度可达：30mm/s
检测重复精度：≦0.5µm
电源：AC220V±10%
三、应用行业
