IGZO靶材中的IGZO是指氧化铟镓锌（Indium Gallium Zinc Oxide），它是一种由铟（In）、镓（Ga）、锌（Zn）和氧（O）组成的氧化物材料
一、IGZO简述：
IGZO靶材中的IGZO，全称为氧化铟镓锌（Indium Gallium Zinc Oxide），是一种由铟（In）、镓（Ga）、锌（Zn）和氧（O）组成的非晶氧化物半导体材料。IGZO靶材作为新型氧化物有源层材料，在高性能TFT（薄膜晶体管）器件制备中扮演着重要角色。其独特的材料特性和广泛的应用优势，使其成为半导体材料领域的一颗璀璨明星。我司专注研发与生产，铸就行业精品。公司生产氧化物靶材材料如下：
OXIDES 氧化物 | |
Aluminum Oxide (Al2O3) | Magnesium Oxide (MgO) |
Antimony Oxide (Sb2O3) | Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
Barium Titanate (BaTiO3) | Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
Bismuth Oxide (Bi2O3) | Molybdenum Oxide (MoO3) |
Bismuth Titanate (Bi2Ti4O11) | Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
Cerium Oxide (CeO2) | Nickel-Cobalt Oxide（NiCoO2） |
Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) | Niobium Pentoxide (Nb2O5) |
Chromium Oxide (Cr2O3) | Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
Chromium Oxide (Eu doped) | Rare Earth Oxides (La2O3) |
Gallium Oxide (Ga2O3) | Silicon Dioxide (SiO2) |
Germanium Oxide (GeO3) | Silicon Monoxide (SiO) |
Hafnium Oxide (HfO2) | Tantalum Pentoxide (Ta2O5) |
Indium Oxide (In2O3) | Tin Oxide (SnO2) |
Indium-Tin Oxide (ITO) | Titanium Dioxide (TiO2) |
Iron Oxide (Fe2O3) | Tungsten Oxide (WO3) |
Lanthanum Oxide(La2O3) | Yttrium Oxide (Y2O3) |
Lead Titanate(PbTiO3) | Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
Lead Zirconate (ZrPbO3) | Zinc Oxide (ZnO) |
Lithium Niobate (LiNbO3) | Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) | Zirconium Oxide (ZrO2) |
二、材料特性：
IGZO靶材的纯度通常高达99.99%（即4N+），这意味着其内部杂质含量极低，从而保证了材料的高质量和稳定性。高纯度是IGZO靶材在高性能电子器件中应用的基础，它确保了器件的可靠性和长寿命。此外，IGZO靶材的密度也相对较高，一般不低于6.30g/cm³，这为其在制备过程中提供了良好的致密性和结构稳定性。至于熔点，IGZO靶材中的各个组成氧化物熔点不同，但整体而言，IGZO材料具有较高的热稳定性，能够承受较高的温度而不发生显著的结构变化。
三、行业应用：
1、IGZO材料在半导体行业中展现出了一系列显著的应用优势。首先，IGZO具有优异的电子迁移率，其载流子迁移率是非晶硅的20~30倍。这一特性使得IGZO在制备高性能TFT器件时，能够实现更快的信号传输速度和更高的工作效率。其次，IGZO的能耗较低，响应时间短，这使得它在显示驱动领域具有得天独厚的优势。无论是LCD显示驱动还是OLED显示驱动，IGZO都能提供出色的显示效果和能效比。此外，IGZO还具有良好的柔性，可以应用于柔性显示屏的制备，为未来的可穿戴设备和便携式电子产品提供了更多的可能性。
2、在显示驱动应用领域，IGZO靶材已被夏普、三星、LG等知名公司开发并投入市场。基于IGZO TFT驱动的显示面板已被广泛应用于笔记本电脑、游戏笔记本电脑以及平板电脑等产品中。例如，戴尔的Dell XPS 13笔记本电脑、Razer的Razer Blade 14游戏笔记本电脑以及苹果的iPad mini 2和iPad Air都采用了IGZO技术。这些产品凭借出色的显示效果和能效比，赢得了消费者的广泛好评。
3、除了显示驱动领域，IGZO靶材还在传感应用和类脑系统等领域展现出巨大的潜力。在传感应用方面，IGZO可以作为光电探测器、压力传感器、pH传感器、气体传感器以及柔性传感器的材料，为物联网和智能家居等领域提供高性能的传感元件。在类脑系统方面，IGZO可以作为DRAM、RRAM等忆阻器的沟道材料，为神经形态计算和人工智能等领域提供新的解决方案。
4、此外，IGZO靶材的制备方法也多种多样，其中磁控溅射法和原子层化学气相沉积（ALCVD）是现阶段大规模制造中常用的方法。这些方法能够**地控制IGZO靶材的元素配比和氧含量，从而优化其电学性能和稳定性。通过调整IGZO的元素比和成膜过程中的氧含量，可以进一步提升有源层的特性，保证生产节拍的同时提升器件的稳定性。
****，IGZO靶材作为一种特性独特的材料，在半导体行业中展现出了广泛的应用前景和巨大的市场潜力。随着技术的不断进步和市场的不断拓展，IGZO靶材有望在更多领域实现突破和创新，为人类社会的科技进步和产业发展做出更大的贡献。