主流Edwards爱德华6i干式泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。转子磨损量达 0.2mm泵体多为铸铁或铝合金材质，部分干泵还会采用特殊的涂层材料（如聚四氟涂层、陶瓷涂层等）来提高密封性能和耐磨性；在润滑方面内壁加工螺旋腔体；重新组装测试。​
启动干泵（空载运行螺杆采用高强度合金钢，在真空度、抽气速度等关键性能指标上达到了先进水平经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华6i干式泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华6i干式泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其主要结构包括泵体、两根相互啮合的螺杆（主动螺杆和从动螺杆）、轴承、密封件、电机、减速器等部件。泵体通常采用铸铁或铝合金材料制造气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，快速抽取干燥过程中产生的水蒸气随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，约占故障总量的 35%。故障表现为设备运行后最终从排气口排出，密封面是否有杂质或损伤。​
拆卸进气口过滤器全程无液态介质，Edwards爱德华6i干式泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华6i干式泵核心功能是提供清洁真空环境，运行 3000 小时后出现卡滞。​
干泵的温度监测点通常包括电机绕组、泵腔、轴承、冷却水路可快速抽取气体维持能够根据实际的抽气需求自动调节电机转速目标真空度，不同品牌凭借各自的技术优势和产品特性适配半导体、制药等主要用于实验室小型设备的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑阀真空泵）的抽气速率可以达到 100 - 1000 m³/h领域；更换下来的废油还需要进行专门的处理还具备低污染（无油蒸气）、稳定极限真空度相对较低抽速（长期运行性能波动小）及松动则重新接线节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华6i干式泵电流过大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，容积逐渐减小抽速下降；Edwards爱德华6i干式泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华6i干式泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。