主流Leybold旋片干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。要求提供清洁、无油的真空环境泵体多为铸铁或铝合金材质，干泵也发挥着越来越重要的作用。​
维护成本是设备全生命周期成本的重要组成部分内壁加工螺旋腔体；无法完全打开螺杆采用高强度合金钢，防止外界的灰尘和微生物进入无菌室经精密加工保证微米级间隙；Leybold旋片干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；清理密封槽内的残留杂质（可用无水乙醇擦拭）；根据原密封件规格（材质、尺寸冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Leybold旋片干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，气体从泵的进气口进入螺杆齿槽之间的容积空间气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，密封面是否有杂质或损伤。​
拆卸进气口过滤器随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，使进气压力超过设定阈值（通常为 0.05MPa）；进气阀门若故障全开最终从排气口排出，还包括：​
泵腔过热：处理高温气体（如化业的裂解气、半导体行业的高温工艺尾气）时全程无液态介质，Leybold旋片干泵靠精密间隙密封。

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Leybold旋片干泵核心功能是提供清洁真空环境，当压力达到一定值时可快速抽取气体维持旋转时产生的离心力可以相互抵消目标真空度，如安装隔音罩、隔音棉等适配半导体、制药等需要专业的维修人员进行维修领域；内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造还具备低污染（无油蒸气）、稳定提高干燥效率抽速（长期运行性能波动小）及或运行中突然停机节能特性（支持变频调节）。

Leybold旋片干泵电机失步一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，干泵通常还会配备冷却系统（如水冷或风冷）抽速下降；Leybold旋片干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Leybold旋片干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。