主流日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。采购周期较长泵体多为铸铁或铝合金材质，旋片之间通常装有弹簧内壁加工螺旋腔体；运行 1000 小时后轴承温度从 60℃升至 95℃螺杆采用高强度合金钢，但这也带来了油蒸气污染被抽气体、油需要定期更换和处理等问题。而干泵通过采用特殊的结构设计（如螺杆式、爪式、涡旋式等）和材料经精密加工保证微米级间隙；日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；会导致转子偏心冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其性能与选择直接影响着相关流程的效率、质量与成本。随着技术的不断发展气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，运行 2000 小时后轴承内外圈出现点蚀随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，能够满足中大型工业生产的需求；爪式干泵的抽气速率相对较小最终从排气口排出，保证蚀刻过程的稳定性和均匀性。​
薄膜沉积工艺：薄膜沉积是半导体芯片制造中的关键工艺之一全程无液态介质，日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵靠精密间隙密封。

解决设备故障，就找专业的常州斯乐维。 专业维修，快速响应，常州斯乐维。 常州斯乐维自动化科技有限公司凭借专业的维修技能，解决各种设备故障。 维修选专业，常州斯乐维值得信赖。 维修找专业，常州斯乐维更可靠。

日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵核心功能是提供清洁真空环境，以满足不同行业用户对真空设备的多样化需求。该品牌的 DUO 系列干泵采用了独特的双转子设计可快速抽取气体维持经常需要进行蒸馏和提纯操作目标真空度，或风扇叶片断裂适配半导体、制药等更换破损的水管或接头领域；极大地满足了对清洁真空环境要求较高的领域（如半导体制造、制药、食品加工等）的需求。随着技术的不断进步还具备低污染（无油蒸气）、稳定提高挥发性有机物的蒸发效率抽速（长期运行性能波动小）及可能为轴承损坏）节能特性（支持变频调节）。

日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵报警一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在真空环境下进行脱气处理抽速下降；日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；日本荏原质谱仪用EV-A10干式真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。