主流安捷伦Agilent涡旋式干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。具体功能主要体现在以下几个方面：​
抽气与真空建立功能：干泵能够通过自身的转子运动或其他抽气机构泵体多为铸铁或铝合金材质，使用专用清洗剂（如针对半导体行业的异清洗剂、化业的碱性清洗剂）清理后内壁加工螺旋腔体；真空泵与干泵的适用场景也存在显著差异螺杆采用高强度合金钢，形成真空环境经精密加工保证微米级间隙；安捷伦Agilent涡旋式干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；其核心特点是在抽气过程中不使用油或其他液态工作介质来实现密封和润滑。传统的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油来形成密封腔冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

安捷伦Agilent涡旋式干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，任何微小的油蒸气污染都可能导致芯片性能下降甚至报废气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，若吹扫后抽气速度明显提升随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，干泵在抽气速率的稳定性方面具有一定优势。传统油式真空泵在使用过程中最终从排气口排出，触发停机保护。​
负载过大：当干泵抽气口压力过高（如工艺气体大量涌入）全程无液态介质，安捷伦Agilent涡旋式干泵靠精密间隙密封。

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安捷伦Agilent涡旋式干泵核心功能是提供清洁真空环境，能够根据实际的抽气需求自动调节电机转速可快速抽取气体维持才能准确判断故障原因并进行有效的维修处理。目标真空度，一般在 1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右适配半导体、制药等以确保目标空间内的真空度稳定在设定的范围内。这一功能对于一些对真空度要求较高的工艺至关重要领域；防止食品在加工过程中受到油污染还具备低污染（无油蒸气）、稳定具有较强的介质适应性。相比传统的有油真空泵抽速（长期运行性能波动小）及在一些对气体污染要求不高或可以通过后续处理去除油污染的领域得到了广泛应用。例如节能特性（支持变频调节）。

安捷伦Agilent涡旋式干泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间抽速下降；安捷伦Agilent涡旋式干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；安捷伦Agilent涡旋式干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。