S5U-PH激光干涉仪
S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台。
一、仪器规格参数
S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台。
仪器规格参数表
硬件部分：
产品型号 | S5U-PH |
产品名称 | 5mm正立式激光干涉仪 |
测试口径 | Φ5mm |
辅助对准口径 | Φ30mm |
标准镜面形精度 | λ/20 |
光源 | 进口半导体激光器（635nm) |
光路切换 | 辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换 |
电源 | AC220V50HZ |
软件部分：
软件名称 | 移相算法（简称PH） |
分析项目 | 透过波前PV值、平行度Tilt值等 |
测试重复性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
测试允许误差 | PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹） 1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹） |
测试时间 | 1.5~2秒 |