光单元生产车间温度宜保持在15度~28度,相对湿度宜保持在40%~70%。
光栅光刻车间洁净度不应低于7级,平面波导型光纤耦合器耦合车间洁净度不应低于8级,其他光单元生产车间应为清洁厂房。
生产厂房洁净区空气洁净等级应根据生产环境要求确定。
空气净化系统宜采用上送测回或上送上回的送回风方式。
生产中产生有害气体的工艺或设备应设局部排风或净化装置。
相关规范:
GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范
GB 51123-2015光纤器件生产厂工艺设计规范
GB 50073-2013 洁净厂房设计规范
GB 51110-2015 洁净厂房施工及质量验收规范
GB 50019-2015 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范
GB 50243-2016通风与空调工程施工质量验收规范
GB 50016—2014(2018年版)建筑设计防火规范