MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
聚合物微纳尺度制造科学与技术在微纳制造技术中占有极其重要的地位。
制造业是促进经济和社会发展的重要部分。其中，微纳制造技术（MNMT）是当今工业、学术界以及许多科学投资i基i金感兴趣的新兴和朝阳领域。1.微米加工的出版物几乎比纳米加工的出版活动高一个数量级。在过去十年中，MNMT研究的平均影响因子（IF）从1增加到2。只有1％的文章被引用超过100次，95％的文章被引用不到50次。2.中国、美国、日本和印度的出版文章占全i球MNMT研究的一半。中国对微纳加工的文献提供了较多的数量贡献。美国和日本分别对微纳加工进行了更多的定性研究。哈尔滨工业大学是MNMT领域出版、被引用和合作组织较多的组织。在被引方面，在微米加工领域，山东硅硅键合微纳加工，主要国家是中国，美国和日本，分别有7，952，硅硅键合微纳加工实验室，6，363和4，433次引用。在纳米加工领域，较多的国家是日本，美国和中国，分别引用1，255，1，220和1，120。
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二维微纳制造：纳米纤维、纳米中空纤维等。
在微电子与光电子集成中，薄膜的形成方法主要有两大类，及沉积和外延生长。沉积技术分为物理沉积、化学沉积和混合方法沉积。蒸发沉积（热蒸发、电子束蒸发）和溅射沉积是典型的物理方法；化学气相沉积是典型的化学方法；等离子体增强化学气相沉积是物理与化学方法相结合的混合方法。薄膜沉积过程，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉积部位和晶态结构都是随机的，而没有固定的晶态结构。外延生长实质上是材料科学的薄膜加工方法，其含义是：在一个单晶的衬底上，定向地生长出与基底晶态结构相同或相似的晶态薄层。其他薄膜成膜方法，如电化学沉积、脉冲激光沉积法、溶胶凝胶法、自组装法等，硅硅键合微纳加工厂商，也都普遍用于微纳制作工艺中。
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微纳检测主要是表征检测：原子力显微镜、扫描电镜、扫声波扫描显微镜、白光干i涉仪、台阶仪等。
电铸是利用金属的电解沉积原理来精i确复i制某些复杂或特殊形状工件的特种加工方法。它通过在母模上沉积金属层的增材制造技术来制备微结构。这种加工法的复i制精度和重复精度高，适用范围广，可用于制造精密、复杂内型面零件。但因技术原理的限制，电铸铸层质量不稳定，易出现麻点、晶粒粗大、应力过大等缺陷，致使铸层物理特性和力学性能下降，严重时零件需报废。模型加工法是利用微纳米尺寸的模具复i制出相应的微纳米结构。该方法主要适用于具有热塑性的材料，如高分子塑料，金属玻璃等。首先，将加热台上的热塑性材料与微模型加热到一定温度；热塑性材料因黏度降低软化后，对其施加一定的应力使其在微模型中进行充型流动；末尾微模型上的微纳米结构便成功转移到热塑性材料的表面上。
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