半导体XRD物相分析 XRD摇摆曲线检测实验室

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XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。













常见的单晶生长方法

1.溶剂缓慢挥发法

挥发化合物的近饱和溶液

干净光滑的器皿,但是全新的玻璃仪器效果往往也不好

合适的溶剂:沸点适中,不能太高或太低,60 ~ 90 度较合适。可以用不良溶剂和良溶剂的混合溶剂溶解化合物 (不良与良溶剂必须互溶,且沸点要高于良溶剂。如,里可加适量水),以避免在溶剂体积特别小时才析出晶体。

过滤:注意避免将滤纸上的纤维带入滤液。

封口、挥发:可用保鲜膜封好口,用很细的针戳孔,通过孔的数量来控制挥发速度。

清洁稳定的环境

注意:缓慢挥发,不能让溶剂完全挥发。

常用溶剂:、乙醇、、-水及 CH2Cl2-正己烷等。
















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薄膜,根据不同的情况可以分成不同类别。根据性质或应用方面,可以把光学领域的薄膜称为金属膜、聚合物膜、消反射膜、生物膜、防护膜、超导薄膜、金刚石膜等等;把微电子学领域的薄膜称为薄膜电阻、外延膜、超晶格等。也有从制备方法、从其结构等进行划分。薄膜的性质和它的成分、晶粒度、结晶状态、晶格失配等诸多因素密切相关。如何研究理清这些因素对于制作高质量薄膜和其他方面就显得尤为重要。

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11.多晶块体测出来的XRD谱和多晶粉末测出来的一样吗?

答:很有可能不一样。一般晶体结晶时,都有较强的方向性,河北XRD摇摆曲线检测,特别是有比较多的化合物存在时,这时,扫出来的衍射峰会和标准峰相差较多。有些有取向性的材料,某些衍射峰会丢失。

12.涂层/薄膜的小角度掠入射XRD测试,入射角度一般和薄膜厚度怎么来经验匹配?

答:一般情况下,薄膜较薄的话,建议掠入射角度小一点,因为角度越大越容易击穿样品;薄膜较厚时,建议掠入射角度大一点,因为角度太小样品峰会太弱。实际情况还是得根据具体的样品测试来积累经验。



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发布时间
2022-12-09 19:58
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