XRD摇摆曲线检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，XRD摇摆曲线检测价格，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
S1，S2与S3为试样表面坐标轴，陕西XRD摇摆曲线检测，S1由研究人员定义。图3为X射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由O点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，有可能依据这些的关系求得O点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出OP方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，X射线穿透深度只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。
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根据弹性力学的理论，应变εφψ可表示为：式中E及v分别是材料的弹性模量及泊松比：如果X射线沿PO方向入射，则εφψ还可表示为垂直于该方向(hkl)晶面间距改变量，根据布拉格方程，这个应变为：式中d0及2θ0分别是材料无应力状态下(hkl)晶面间距及衍射角。两个公式都表示应变εφψ，其中前者代表了宏观应力与应变之间关系，后者则是晶面间距的变化。
二者将宏观应力(应变)与晶体学晶面间距变化结合在一起，XRD摇摆曲线检测哪家好，从而建立了X射线应力测试的理论基础。由于X射线穿透表面的深度很浅，在测试厚度范围内可简化为平面应力问题来处理，此时σz=Txz=Tyz =0，可对公式进行简化：令前面两个公式相等，简化后得到：令方位角φ分别为0°、90°及45°时，对上式简化，并对sin2Ψ求偏导式中K称为X射线弹性常数或X射线应力常数，简称应力常数
这就是平面应力测试的基本公式，利用应力分量σx、σy和Txy，实际上已完整地描述了材料表面的应力状态
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侧倾法
侧倾法的衍射几何特点是平面与测角仪2θ扫描平面垂直。由于2θ扫描平面不再占据Ψ角转动空间，二者互不影响，XRD摇摆曲线检测哪里可以做，Ψ角设置受任何限制。优点:
·扫描平面与Ψ角转动平面垂直，在各个Ψ角衍射线经过的试样路程近乎相等，因此不必考虑吸收因子的影响；
·由于Ψ角与2θ扫描角互不限制，因而增大这两个角度的应用范围;
·衍射几何对称性好，有效减小散焦的影响，改善衍射谱线的对称性。
缺点:
Ψ角与2θ角占据互相垂直的两个平面，需要足够的空间。对角焊缝、齿根等的应力测试比较困难。
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