XRD残余应力检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，XRD残余应力检测报告，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
布拉格定律
当一束具有一定波长λ的X射线照射到多晶体上时，会在一定的衍射角2θ上接收到反射的X射线强度极大值(即衍射峰)，这便是X射线衍射现象，如图1所示。X射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在X射线衍射残余应力分析中，选用合适靶材的X射线管，即选定合适的波长λ，通过衍射装置测定衍射角2θ，就可以计算出相应晶面的晶面间距d。
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●当材料中存在单向拉应力时，平行于应力方向的(hkI)晶面间距收缩减小(衍射角增大)
●垂直于应力方向的同族晶面间距拉伸增大(衍射角减小)
●其它方向的同族晶面间距及衍射角则处于中间。●当材料中存在压应力时，其晶面间距及衍射角的变化与拉应力相反。材料中宏观应力越大，不同方位同族晶面间距或衍射角之差异就越明显，这是测试宏观应力的理论基础。●由于X射线穿透深度较浅(约10μm)，江苏XRD残余应力检测，材料表面应力通常表现为二维应力状态，法线方向的应力(σz)为零。φ及ψ为空间任意方向OP的网个万位用，εφψ为材料沿OP方向的弹性应变，σx及σy分别为x及y方向正应力。此外，还存在切应力τxy
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晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，XRD残余应力检测费用多少，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
S1，S2与S3为试样表面坐标轴，S1由研究人员定义。图3为X射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由O点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，有可能依据这些的关系求得O点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出OP方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，X射线穿透深度只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。
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