功能完善 1756-PA72 操作终端 变频器1756-PB721769-ADN1734-IV41746-IV161761-CBL-PM021756-OA16I1769-SM21734-IV81746-IV321761-NET-AIC1756-OB16E1769-OF4CI1734-MB1746-NI41762-IQ81756-OW16I1769-DPS1734-OA41746-NI04I1768-CNBR1756-L711769-OB161734-AENT1746-NI04V1762-L24BWA1756-OX8I1769-OB16P1734-OB41746-NO4V1762-OB161756-PA721769-L35E1734-TBS1746-NT41763-BA1756-PLS1769-0A81734-OB4E1746-OA161764-24BWA1756-PSCA21769-OB161734-OB81746-P11764-LRP1756-RM1769-OB321734-OB8S1746-P31764-LSP1756-RMC11769-OB81734-OE2V1746-A101768-PB31756-PA75R1769-OF21756-L721746-A71768-CNB1756-OB16E1769-ASCII1734-OW21746-OB161768-L431756-A101769-OV161734-TBCJC1746-OB16E1768-ENBT1756-A131769-OW161734-ACNR1746-OB321768-EWEB1756-A171769-OW81734-AENTR1746-BAS1768-MI04SE1756-PA751769-QWBT1734-ARM1746-TM161771-OBN1756-TBS6H1769-IQ321734-AFM1746-IB321771-ASB1756-IB16I1769-IQ6X0W41734-EP24DC1746-OBP81771-IBD1756-OF41769-I6X0W41734-EPAC1746-OW161771-OAN1756-CN2R1769-IQ620W41734-FPD1746-HSCE1771-CFM1756-CN2RXT1769-L301734-IB21746-HSRV1783-BMS10CGP1756-OB321769-L30ERMS1734-IB41746-IA161783-EMS08T1756-OB81769-L32C1734-IT2I1746-IO12DC1783-MEKO8T1756-A71769-L33ER1794-OF4I1746-OW81783-SFP1GLX1756-CN21769-IF4X0F21794-OF4IXT1747-ASB1783-US05T1756-CNB1769-IF81794-OW81747-L5241783-USO8T1756-CNBR1769-IQ161794-TB31747-L5321784-CF641756-OF6CI1769-PA21794-PS131747-L5421784-KT1756-RM21769-PB21794-PS31747-L5431784-SD11756-OF6VI1769-BA1794-TB321747-L5521786-RPA1756-CPR21769-ECL1794-TB3TS1747-SDN1786-RPCD1756-DHRI01769-ECR1794-TBNF1747-SN1786-RPFM1756-OB16I1769-IA161794-TB32S1757-SRM1787-MCABL功能完善 1756-PA72 操作终端 变频器应用介绍碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机,主要结构包括:上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、缺陷检测工位、甩干机和下料工位。
课题1、碎片率高由于碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强,因此在搬运及清洗过程中更加容易碎片。
2、需满足行业标准(SECS/GEM通讯)解决方案1、轨迹曲线控制技术客户期望在保证高速节拍的前提下,降低碎片率。
通过欧姆龙独特的轨迹曲线控制技术,能够自动计算补偿量,以抑制速度变化时发生的偏差,精度高达±0.01mm。
确保了整个搬运及清洗过程中的运动精度,即可在无偏差的情况下完成一系列工艺操作,有效降低碎片率。
2、满足行业标准(SECS/GEM通讯)结合机器控制和上位通信,可在短时间内以低成本轻松实现SECS/GEM通信。
■ 与上位主机直接通信无需中转计算机/专用通信单元/软件■ 有助于设备小型化CPU单元可直连上位主机■ 无需年度合约降低运行成本 使用SECS/GEM配置,无需编程即可实现通信设定。
■ 无需地址设定变量编程无需地址设定■ 计算机与机器控制器之间无需编程使用一台CPU,无需在中转计算机和机器控制器之间通信■ 通过SECS/GEM配置缩短设计时间 系统配置 实现价值1、生产节拍<175秒2、碎片率<0.05%,完整率≥99.95%3、满足行业标准(SECS/GEM通讯)3个“i”掀起制造革新 功能完善 1756-PA72 操作终端 变频器