石英坩埚
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原辅材料
主要原料：高纯石英砂
主要指标：（单位：ppm）
元素名称 Al Fe Ca Mg Ti Ni Mn Cu Li Na K Co B
含量 11.6 0.3 0.5 0.5 1.0 0.01 0.05 0.01 0.7 0.43 0.42 0.03 0.04
1、辅料：
①石墨电极采用φ76mm粗高纯电极棒
灰份：<80PPm
假比重：1.6g/cm
比电阻：<15×10Ω.cm
抗弯强度：>1.47×10Pa
②石墨模具
灰份：<200PPm
假比重：16g/cm
抗弯强度：>1.67×10Pa
③大尺寸石英遮热板
纯度：Al<200 Na<30 Li<30
Fe<30 K<30
1．石英坩埚可在1650度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、不能和HF接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。
3．石英坩埚适于用K2S2O7，KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。
4．石英质脆，易破，使用时要注意。
5．除HF外，普通稀无机酸可用作清洗液。
