半导体研究所 台湾XRD物相分析检测

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XRD物相分析检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,XRD物相分析检测服务,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


XRD 峰整体向右偏移是什么原因造成的?

可能是离子半径小的元素取代了离子半径大的元素。

也可能是你制样时,样品表面高出了样品座平面或者仪器的零点不准造成的,建议你好用标样来修正你的数据。

把样品靠后放置,使样品偏离测角仪中轴大概有 1mm,请问衍射峰会怎么变化?

峰位移向低角度。样品表面偏离测角仪转轴 0.1mm,衍射角的测量将产生约 0.05度(2θ)的误差(对 Cu 靶,在 2θ 20度附近的位置)。

 影响仪器测量结果的分辨率仅仅取决于θ吗?

影响仪器测量结果的分辨率的因素是多方面的:测角仪的半径;X 射线源的焦斑尺寸;光学系统的各种狭缝的尺寸;仪器调整情况(2:1 关系);采数步宽;样品定位情况等。




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非晶质衍射图的特征是:在整个扫描角度范围内(从2θ 1°~2°开始到几十度)只观察到被散射的 X 射线强度的平缓的变化,其间可能有一到几个值;开始处因为接近直射光束强度较大,随着角度的增加强度迅速下降,到高角度强度慢慢地趋向仪器的本底值。

从 Scherrer 公式的观点看,这个现象可以视为由于晶粒极限地细小下去而导致晶体的衍射峰极大地宽化、相互重叠而模糊化的结果。晶粒细碎化的极限就是只剩下原子或离子这些粒子间的"近程有序"了,这就是我们所设想的"非晶质"微观结构的场景。非晶质衍射图上的一个值相对应的是该非晶质中一种常发生的粒子间距离。

介于这两种典型之间而偏一些"非晶质"的过渡情况便是"准晶"态了。




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进行衍射分析时如何选择靶(Xi光管)?现有Cr的多晶试样,我只知道衍射分析时选Cr靶,但不知道为什么。

对于所有的元素,在高速电子的轰击下都会产生 X 射线还可能产生其特征X射线。元素受较高能量的X射线的照射时也能够激发其特征射线,称为二次X射线或荧光X射线,XRD物相分析检测费用多少,同时表现出对入射 X 射线有强烈的吸收衰减作用。

对于一定波长,随着元素周期表中的原子序数的增加其衰减系数也增加,台湾XRD物相分析检测,但到某一原子序数时,突然降低;对于一定元素随着波长的增加质量衰减系数也会增加,但到某界质量衰减系数突然降低,此种情况可以出现数次。关注材料基公众号,学习更多技能。各元素的质量衰减系数突变时的波长值称为该元素的吸收边或吸收限。利用元素吸收性质的这个突变性质,我们能够为每一种X 射线靶选择到一种物质做成"滤波片",它仅对该靶材产生的 Kβ线强烈吸收而对其Kα波长只有部分的吸收,从而可以获得基本上由Kα波长产生的衍射图。原子序数比某靶材小1的物质正是这种靶的 Kβ滤片。




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发布时间
2022-12-19 20:09
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