外资高新技术企业类粤 Z 车牌的申请流程如下：
准备申请材料：
《外商投资企业设立（变更）备案回执》或相关投资企业批准证书，用于证明企业的外资投资背景和相关备案信息。
《企业法定代表人营业执照》及商户登记文件，如香港的商业登记证、公司注册证书等（根据企业所在地具体提交相应的登记文件）。
《国家高新技术企业证书》，这是申请的关键资质证明。
车辆登记文件，证明车辆的合法性及相关信息。
驾驶人的相关证件，如回乡证、身份证、内地驾照等（如果是非永居身份，需担任香港公司的董事或者股东）。若车辆所有人与投资者名称不一致，还需提交证明两者隶属关系的材料。
网上申请3：
申请人登录广东省公安厅交通管理局政务服务网网上办事大厅，填写相关资料并提交审核。之后，审核结果会通过手机短信方式告知申请人。
现场提交材料：申请人按照手机短信通知时间到广东省公安厅交通管理局办证大厅提交材料，进行受理、拍照等步骤3。若申请人自愿选择邮寄领证，则后续可不必到办证大厅领取相关证件。
审核与审批：相关部门对申请材料进行审核与审批，这个过程一般需要一定时间，通常在 10 个工作日左右48。
验车与购买保险：
申请人收到审核通过短信通知后，凭受理回执到中国检验有限公司汽车检验中心验车。
购买内地机动车交通事故责任强制保险。
领取相关证件：
验车通过 2 个工作日后，申请人交纳牌证工本费，凭受理回执到广东省公安厅交通管理局办证大厅领取《粤港澳机动车往来及驾驶人驾车批准通知书》（批文卡）、机动车行驶证。
办理香港相关手续：
申请人凭批文卡到香港运输署过境服务分组申请领取《封闭道路通行许可证》（即禁区纸）。
申请人凭批文卡等相关材料到深圳海关隶属皇岗海关办理海关备案手续，取得海关核发的备案证明及车辆通关证件。
申请人凭批文卡、驾驶人出境入境证件等相关材料到深圳边检总站皇岗边检站办理边检备案手续（首 次备案驾驶人需本人携带相关材料到现场办理）。
领取内地机动车号牌并固封：备案驾驶人驾车经获准通行的深港口岸通关，到深圳市公安局交通警察支队文锦渡车管所领取内地机动车号牌并固封3。
领取车卡和司机卡：备案驾驶人驾车到深圳海关隶属皇岗海关验车，凭批文卡等相关材料，申请领取安装用于口岸通关的车辆电子识别标签（即车卡）和驾驶人电子识别标签（即司机卡）。